2026-08-12
Tại sao các chất bán dẫn cần các tấm mỏng?
Một con chip đơn, về cơ bản, là một cấu trúc ba chiều được hình thành bởi sự xếp chồng chính xác của hàng trăm lớp màng mỏng.
Mỗi lớp phục vụ một chức năng cụ thể:
| Loại màng mỏng |
Chức năng |
Vật liệu điển hình |
| Lớp dẫn điện | Dẫn điện và kết nối thiết bị | Al, Cu, W, TiN |
| Lớp cách nhiệt | Cô lập mạch và ngăn ngừa rò rỉ điện | SiO2, SiN, Low-k |
| Lớp rào cản | Ngăn chặn sự lan truyền và cải thiện độ tin cậy | TaN, TiN, W |
| Vật liệu cổng | Chuyển đổi thiết bị điều khiển | Poly-Si, cổng kim loại |
| Lớp thụ động | Bảo vệ bề mặt và tăng tính ổn định | SiN, SiON |
| Lớp điện đệm | Lưu trữ điện tích để thực hiện các chức năng |
|
Công nghệ màng mỏng bán dẫn
Bộ phim được hình thành như thế nào?
1Nguồn vật liệu: mục tiêu rắn, chất phản ứng khí hoặc tiền chất hóa học;
2- Giao thông: qua plasma, chân không, khí mang hoặc khuếch tán;
3Phản ứng bề mặt: Sự hấp thụ vật lý hoặc phản ứng hóa học xảy ra trên bề mặt wafer;
4. Nucleation & Growth: Sự tổng hợp nguyên tử cho nucleation, tăng trưởng đảo, hình thành phim liên tục và làm dày đặc;
5. hình thành phim: hình thành một bộ phim mỏng với độ dày ngày càng tăng, cấu trúc dày đặc và cấu trúc vi mô ổn định.
Gửi yêu cầu của bạn trực tiếp đến chúng tôi
