| Nguồn gốc: | Trung Quốc |
|---|---|
| Hàng hiệu: | Ruideer |
| Chứng nhận: | GB150, JB4732 |
| Số mô hình: | 530L |
| Số lượng đặt hàng tối thiểu: | 1 bộ |
| Giá bán: | USD1200000.00-20000000.00 |
| chi tiết đóng gói: | Hộp gỗ đặc biệt |
| Thời gian giao hàng: | 5-8 tháng |
| Điều khoản thanh toán: | T/T |
| Khả năng cung cấp: | 3 bộ |
| buồng phản ứng: | 2 chiếc | Nhiệt độ tối đa:: | 1100℃ |
|---|---|---|---|
| Nhiệt độ làm việc: | 900-1050°C | Tổng công suất: | khoảng 75KW |
| Lò sưởi: | khoảng 55KW | Kích thước hiệu quả của buồng phản ứng: | φ500mm×1500mm; |
| Điểm nổi bật: | Máy phủ CVD 530L,Máy phủ RDE CVD,Thiết bị phủ Cvd hai buồng phản ứng |
||
1.Thiết bị, dụng cụSức mạnhS
1.1 Chế độ tự động.Theo cài đặt quy trình, các thành phần và quy trình riêng lẻ được điều khiển tự động.Điều khiển tự động bao gồm công tắc van, điều khiển lưu lượng khí xử lý, điều khiển lưu lượng chất lỏng xử lý, điều khiển áp suất lò phản ứng, lò sưởi và điều khiển nhiệt độ đai sưởi điện, v.v., mà không cần sự can thiệp của con người trong toàn bộ quá trình.Quá trình hoạt động tự động thực hiện xử lý cảnh báo tự động.Theo các loại báo động khác nhau, nó sẽ tự động chuyển sang chế độ báo động để bảo vệ các sản phẩm trong lò.Sau khi báo thức được giải phóng, nó có thể được khôi phục thủ công về trạng thái trước khi báo thức.
1.2.Quá trình được theo dõi trong suốt quá trình, tất cả dữ liệu cảm biến và trạng thái van được lưu vào dữ liệu lịch sử, có thể xem bất cứ lúc nào.
1.3.Chế độ thủ công.Có một khóa liên động an toàn, tự động thực hiện khóa theo loại khí và nhiệt độ bên trong lò phản ứng và không thể mở lò phản ứng theo ý muốn.Chế độ thủ công được đặt bằng thao tác một nút, chẳng hạn như hút bụi, H2thanh lọc, N2thanh lọc, v.v., không cần phải tự di chuyển từng van và bơm chân không.
1.4.Dữ liệu báo động được lưu tự động và dữ liệu lịch sử có thể được truy xuất bất kỳ lúc nào.
2. Môi trường làm việc tại nhà máy
2.1 Độ ẩm và nhiệt độ xung quanh
2.1.1 Độ ẩm xung quanh: <90% (ở +35°C)
2.1.2 Nhiệt độ môi trường: 5℃～40℃
2.2 Nguồn điện
2.2.1 Nguồn điện: 380V±10%, 50Hz, hệ thống ba pha năm dây
2.2.2 Nguồn điện điều khiển: 210V～250V, 50Hz, một pha
2.3 Nguồn không khí
2.3.1 Áp suất khí nén: 6-7bar,
2.3.2 Áp suất Ar: 2-3bar,
2.3.3H2áp suất và lưu lượng: 2-3bar, 0-75slm
2.3.4 N2áp suất và lưu lượng: 2-3bar, 0-50slm
2.3.5 Áp suất và lưu lượng CO: 2—3bar, 0-2.5slm
2.3.6CO2áp suất và lưu lượng: 2-3bar, 0-5slm
2.3.7CH4áp suất và lưu lượng: 2-3bar, 0-5slm
2.3.8 Áp suất và lưu lượng HCl: 2-3bar, 0-5slm
2.3.9 giờ2Áp suất và lưu lượng S: 2-3bar, 0-0,4slm
2.4 Nguồn nước
2.4.1 Áp suất đầu vào của nước làm mát: 2-3bar, nên sử dụng nước tinh khiết.Nhiệt độ là 13-16°C.(Khách hàng cần trang bị nước lạnh), lưu lượng nước làm mát, 5m3/h.
2.4.2 Nguồn nước dự phòng khẩn cấp (do người sử dụng chuẩn bị)
Áp suất: 1,5bar—2bar.
