Trung Quốc CVD Manufactures, Silicon Carbide Coating Machine

Trung Quốc sản xuất lò CVD lớp phủ silicon carbide

Thiết bị này được sử dụng để sơn silicon carbide của vật liệu dựa trên cacbon / gốm,đặc biệt là lắng đọng của cacbon silicon trên bề mặt của các chất cảm ứng epitaxial bán dẫn và vòng khắc.

Các lò CVD được sử dụng cho quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD).Sự lắng đọng hơi hóa học là một quá trình trong đó một bộ phim mỏng được lắng đọng trên một chất nền bằng cách sử dụng một phản ứng hóa học giữa khí tiền thân bị bay hơi và bề mặt nóng.

Cơ sở epitaxial, một đĩa graphite tinh khiết cao, với một rãnh tròn để cố định nền wafer.Sau khi đặt chúng trong lò, một lớp phim tinh thể sẽ phát triển trên bề mặt của chất nền, đó là lớp biểu trục.Các quá trình wafer như lithography và cấy ghép ion đều được thực hiện trên lớp biểu trục.

Cơ sở epitaxial làm bằng graphite rõ ràng không thể đáp ứng các yêu cầu về độ sạch cực cao trong quy trình bán dẫn.Vì lý do này, chúng tôi cần sử dụng chất thải hơi nước hóa học trên cơ sở để bọc một lớp phim silicon carbide dày đặc.

• Tiêu chuẩn thiết kế

Thiết bị được thiết kế phù hợp với các yêu cầu của thùng áp suất của Cục Giám sát Chất lượng và Kỹ thuật, và được chứng nhận sau khi thử nghiệm áp suất và vận chuyển.Thiết kế và xây dựng điện đáp ứng các tiêu chuẩn quốc gia.

• Kiểm tra trước khi lắp đặt và chấp nhận trước

Các thiết bị được lắp ráp hoàn toàn trong nhà máy của chúng tôi, bao gồm tất cả các đường ống, đường ống chân không, đường ống khí quá trình, đường ống nước làm mát, đường ống khí nén, vvKiểm tra trước có thể được thực hiện sau khi lắp đặtTại địa điểm của khách hàng, các đường ống khác ngoài thiết bị được cung cấp bởi khách hàng.cáp chính kết nối tủ điện được cung cấp bởi khách hàngSau khi lắp đặt, chúng tôi thực hiện các thử nghiệm rò rỉ chân không và áp suất dương trên toàn bộ thiết bị, cũng như các thử nghiệm chức năng cơ khí và điện.

• Phân tích và vận chuyển

Thiết bị sẽ được tháo rời thành một số bộ phận lớn, đóng gói theo cách tiêu chuẩn và tải vào xe vận chuyển.

• Lắp đặt và đưa vào sử dụng trang web của khách hàng

Kỹ sư sau bán hàng Redel sẽ dẫn dắt nhóm hoàn thành việc khởi động, thử nghiệm sản phẩm đốt cháy và công việc khác trong vòng 20 ngày làm việc.Khách hàng cần chuẩn bị thích hợp và cung cấp các công cụ cần thiết, chẳng hạn như nâng và nâng thiết bị. Và cung cấp hỗ trợ nhân viên lắp đặt (được khuyến cáo có 1 nhân viên cơ khí và 1 nhân viên điện).

• Chấp nhận cuối cùng

Sau khi lắp đặt và đưa vào sử dụng, thiết bị có thể được chấp nhận cuối cùng theo các yêu cầu của hợp đồng kỹ thuật.

• Đào tạo

Các kỹ sư sau bán hàng của chúng tôi sẽ cung cấp một đào tạo có hệ thống và hoàn chỉnh tại chỗ, bao gồm hoạt động, bảo trì, khắc phục sự cố, vv

• Phân phối dữ liệu kỹ thuật

Để đảm bảo hoạt động an toàn và bảo trì thiết bị, các dữ liệu kỹ thuật sau đây sẽ được cung cấp cho khách hàng:

1. Định dạng lắp đặt thiết bị

2Hướng dẫn sử dụng

3. Danh sách phụ tùng

4- Sơ đồ điện

5. Sổ tay thành phần

Câu hỏi thường gặp

Bạn là một nhà máy hay một công ty thương mại?

Q: Bạn là một nhà máy hoặc công ty thương mại?

A: Chúng tôi là nhà sản xuất lò chân không nhiệt độ cao hàng đầu Trung Quốc với hơn 10 năm kinh nghiệm.

Bạn có dịch vụ tùy chỉnh hoặc OEM không?

Q: Bạn có tùy chỉnh hoặc dịch vụ OEM?

A:Vâng,chúng tôi có đội ngũ nghiên cứu và phát triển mạnh mẽ và thiết bị công nghệ cao. Vì vậy, chúng tôi không chỉ có thể cung cấp mô hình thông thường, mà còn là lò tùy chỉnh như là sự phục hồi của khách hàng của chúng tôi.

Lợi thế của anh là gì?

Q: Lợi thế của bạn là gì?

A:

Tôi trả lời nhanh cho câu hỏi của ông.

L Kiểm soát chất lượng cao

L Chuỗi cung ứng ổn định

L Giao hàng kịp thời

L Dịch vụ sau bán hàng tuyệt vời