Nguồn gốc:
Trung Quốc
Hàng hiệu:
Ruideer
Chứng nhận:
CE
Số mô hình:
630,530,430
Băng hình
Băng hình
Băng hình
Cửa nắp lớp phủ lắng đọng hơi hóa học với TiCL4,AICL3 tiền chất và khí quá trình
Máy phủ CVD là một kỹ thuật lớp phủ chân không hiện đại, sử dụng thiết bị lắng đọng hóa học để lắng đọng một lớp vật liệu mỏng trên bề mặt của chất nền.Loại thiết bị sơn bề mặt này cung cấp một loạt các tốc độ sơn, từ 0,1 đến 2,0m/min. Nó cũng cung cấp một áp suất lớp phủ chính xác và đồng đều, với độ ổn định áp suất -± 2mbar.đảm bảo nhiệt độ nền ổn định cho kết quả lớp phủ tối ưu. Toàn bộ quá trình được điều khiển bởi một hệ thống PLC, đảm bảo độ dày lớp phủ chính xác và đồng nhất. Máy phủ CVD này lý tưởng cho nhiều ứng dụng lớp phủ CVD.
Sự khác biệt giữa các quá trình ALD và CVD:
ALDlà một kỹ thuật lắng đọng hơi hóa học dựa trên phản ứng bề mặt tự giới hạn
Các bộ phim lắng đọng một lớp nguyên tử tại một thời điểm
Yêu cầu nhiệt độ thấp hơn
hữu ích trong sản xuất bán dẫn và mạch tích hợp, pin mặt trời màng mỏng và trong sản xuất lớp phủ hiệu suất cao cho các thành phần quang học.
CVDlà một công nghệ xử lý vật liệu được sử dụng rộng rãi, trong đó các tấm mỏng được hình thành trên một chất nền nóng thông qua phản ứng hóa học của các tiền chất pha khí.
Phim lắng đọng với phạm vi độ dày rộng hơn
Yêu cầu nhiệt độ cao hơn
Được sử dụng trong các lĩnh vực như quang học, vi điện tử, và khoa học vật liệu, nơi nó giúp trong việc chế tạo phim mỏng và lớp phủ cho các thiết bị điện tử, lắng đọng lớp phủ trên ống kính và gương,và tổng hợp các vật liệu khác nhau.
| Mô hình thiết bị | CVD430-1250 | CVD430-1600 | CVD530-1250 | CVD530-1600 | CVD630-1250 | CVD630-1600 |
| Không gian hiệu quả ((mm) | Φ400X1250 | Φ400X1600 | Φ500X1250 | Φ500X1600 | Φ600X1200 | Φ600X1600 |
| Năng lượng sưởi ấm ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
| Số lượng vùng sưởi ấm | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
| Dấu chân thiết bị ((mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
| Nhiệt độ quá trình(°C) | 700-1050 | |||||
| Các chất tiền chất và khí quá trình | TiCL4,AICL3CH3CN,H2N2,Ar,CH,CO,CO2HCI, H2S | |||||
| Loại lớp phủ | TiC,TiN,TiCN,a-AL2O3K-AI2O3 | |||||
| Thiết bị tùy chọn |
1. tắt khí trung hòa (bao gồm cả thiết bị sơ tán); 2. Máy phân phối khí giai đoạn thứ hai (bao gồm đường ống); 3Trạm xăng (bao gồm đường ống) |
|||||
• Tiêu chuẩn thiết kế
Thiết bị được thiết kế phù hợp với các yêu cầu của thùng áp suất của Cục Giám sát Chất lượng và Kỹ thuật, và được chứng nhận sau khi thử nghiệm áp suất và vận chuyển.Thiết kế và xây dựng điện đáp ứng các tiêu chuẩn quốc gia.
• Kiểm tra trước khi lắp đặt và chấp nhận trước
Các thiết bị được lắp ráp hoàn toàn trong nhà máy của chúng tôi, bao gồm tất cả các đường ống, đường ống chân không, đường ống khí quá trình, đường ống nước làm mát, đường ống khí nén, vvKiểm tra trước có thể được thực hiện sau khi lắp đặtTại địa điểm của khách hàng, các đường ống khác ngoài thiết bị được cung cấp bởi khách hàng.cáp chính kết nối tủ điện được cung cấp bởi khách hàngSau khi lắp đặt, chúng tôi thực hiện các thử nghiệm rò rỉ chân không và áp suất dương trên toàn bộ thiết bị, cũng như các thử nghiệm chức năng cơ khí và điện.
• Phân tích và vận chuyển
Thiết bị sẽ được tháo rời thành một số bộ phận lớn, đóng gói theo cách tiêu chuẩn và tải vào xe vận chuyển.
• Lắp đặt và đưa vào sử dụng trang web của khách hàng
Kỹ sư sau bán hàng Redel sẽ dẫn dắt nhóm hoàn thành việc khởi động, thử nghiệm sản phẩm đốt cháy và công việc khác trong vòng 20 ngày làm việc.Khách hàng cần chuẩn bị thích hợp và cung cấp các công cụ cần thiết, chẳng hạn như nâng và nâng thiết bị. Và cung cấp hỗ trợ nhân viên lắp đặt (được khuyến cáo có 1 nhân viên cơ khí và 1 nhân viên điện).
• Chấp nhận cuối cùng
Sau khi lắp đặt và đưa vào sử dụng, thiết bị có thể được chấp nhận cuối cùng theo các yêu cầu của hợp đồng kỹ thuật.
• Đào tạo
Các kỹ sư sau bán hàng của chúng tôi sẽ cung cấp một đào tạo có hệ thống và hoàn chỉnh tại chỗ, bao gồm hoạt động, bảo trì, khắc phục sự cố, vv
• Phân phối dữ liệu kỹ thuật
Để đảm bảo hoạt động an toàn và bảo trì thiết bị, các dữ liệu kỹ thuật sau đây sẽ được cung cấp cho khách hàng:
1. Định dạng lắp đặt thiết bị
2Hướng dẫn sử dụng
3. Danh sách phụ tùng
4- Sơ đồ điện
5. Sổ tay thành phần
Câu hỏi thường gặp
Q: Bạn là một nhà máy hoặc công ty thương mại?
A: Chúng tôi là nhà sản xuất lò chân không nhiệt độ cao hàng đầu Trung Quốc với hơn 10 năm kinh nghiệm.
Q: Bạn có tùy chỉnh hoặc dịch vụ OEM?
A:Vâng,chúng tôi có đội ngũ nghiên cứu và phát triển mạnh mẽ và thiết bị công nghệ cao. Vì vậy, chúng tôi không chỉ có thể cung cấp mô hình thông thường, mà còn là lò tùy chỉnh như là sự phục hồi của khách hàng của chúng tôi.
Q: Lợi thế của bạn là gì?
A:
Tôi trả lời nhanh cho câu hỏi của ông.
L Kiểm soát chất lượng cao
L Chuỗi cung ứng ổn định
L Giao hàng kịp thời
L Dịch vụ sau bán hàng tuyệt vời
Gửi yêu cầu của bạn trực tiếp đến chúng tôi
