Workingspace: 12-1000L
MAX.WORKKINGPREPREMAX.WORKKING PANTER (MPA): 1、2、6、10、20
Băng hình
Tối đa. Nhiệt độ làm việc: 1300℃
Nhiệt độ hoạt động: 1200℃
Băng hình
chi tiết đóng gói: Vỏ gỗ
Thời gian giao hàng: 5-6 tháng
Khu vực sưởi ấm: Đơn lẻ/Điều đôi/Nhiều
Đo nhiệt độ: W-RE 5/26 ToupoCouple+Pyrometer
Băng hình
Kích thước: tùy chỉnh
Khí đầu vào: N2,Ar,H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
Băng hình
Nhiệt độ làm việc tối đa (oC): 1300
Temperature uniformity(℃）: ≤±3
Băng hình
Nhiệt độ làm việc tối đa.: 1800℃
Áp suất làm việc tối đa: 9,8 thanh
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Băng hình
Thời gian làm mát: ≤1H/4H/5H/6H/8H (Lò trống, làm mát từ nhiệt độ thiêu kết 1450-100 ° C) Nhiệt độ nước, áp suất nước 2
Kích thước: tùy chỉnh
Băng hình
Các chất nền lớp phủ: Kim loại, gốm, thủy tinh, v.v.
Độ bám dính lớp phủ: Mạnh
Băng hình
Tiền chất và khí xử lý: TICL4 、 ALCL3 CH3CN 、 H2 、 N2 、 AR 、 CH4 、 CO2 HCL 、 H2S
Kích thước thiết bị phủ: Có thể tùy chỉnh
Băng hình
phương pháp phủ: Lắng đọng hơi hóa học (CVD)
Tổng công suất: Khoảng 40/50/60/80kw
Băng hình
Tổng công suất: Khoảng 40/50/60/80kw
Các chất nền lớp phủ: Kim loại, gốm, thủy tinh, v.v.
Băng hình
Thời gian làm mát: ≤1H/4H/5H/6H/8H (Lò trống, làm mát từ nhiệt độ thiêu kết 1450-100 ° C) Nhiệt độ nước, áp suất nước 2
Nhiệt độ tối đa: 2000℃
Tiền chất và khí xử lý: TICL4 、 ALCL3 CH3CN 、 H2 、 N2 、 AR 、 CH4 、 CO2 HCL 、 H2S
Các chất nền lớp phủ: Kim loại, gốm, thủy tinh, v.v.
Gửi yêu cầu của bạn trực tiếp đến chúng tôi
