Quyền lực: 380v
Kiểm soát khí quyển: Hệ thống trộn khí
Tối đa. Nhiệt độ làm việc: 1800
Tính đồng nhất nhiệt độ: ≤ ± 5
Nhiệt độ làm việc tối đa.: 1600
Nhiệt độ làm việc: 1550oC
Làm nổi bật:
chi tiết đóng gói: vỏ gỗ
Làm nổi bật:
chi tiết đóng gói: vỏ gỗ
Nhiệt độ tối đa.: 2100
Độ đồng đều nhiệt độ(oC): ≤±5
Nhiệt độ tối đa.: 2100
Độ đồng đều nhiệt độ(oC): ≤±5
Nhiệt độ xử lý ((oC): 700-1050
Tiền chất và khí xử lý: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Tiền chất và khí xử lý: TICL4 、 ALCL3 CH3CN 、 H2 、 N2 、 AR 、 CH4 、 CO2 HCL 、 H2S
Các chất nền lớp phủ: Kim loại, gốm, thủy tinh, v.v.
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Nhiệt độ xử lý ((oC): 700-1050
Tiền chất và khí xử lý: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Nhiệt độ xử lý ((oC): 700-1050
Tiền chất và khí xử lý: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Nhiệt độ xử lý ((oC): 700-1050
Tiền chất và khí xử lý: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Nhiệt độ xử lý ((oC): 700-1050
Các loại lớp phủ: TiC,TiN,TiCN,a-AL2O3,K-AI2O3
Nhiệt độ xử lý ((oC): 700-1050
Các loại lớp phủ: TiC,TiN,TiCN,a-AL2O3,K-AI2O3
Gửi yêu cầu của bạn trực tiếp đến chúng tôi